这一次光学研究所的目标还是非常大了，想直接将步进扫描投影曝光机，准备将集成电路图形的线宽缩小到0.35 μm的节点。波长能达到193nm, 光学光刻分辨率争取能达到70nm的极限，目标很宏大, 自然需要的时间也不少。 限制芯片大小的主要关机就是在于光刻系统能获得的分辨率有关, 而提升分辨率最有效的方法就是减小照射光源的波长, 因此这个项目的关键就是开发和寻找新型的短波长的光源, 研究不同的光源本来就是光学研究所的重要任务, 所以这一次他们项目的重点也就是找到只有193nm甚至是要比这个数字更短的光源。 而这项任务除了本身的研究实力, 大量的实验之外, 自然还需要不少运气了, 陆见倒是记得光刻机的几种光源, 大概是激光、紫外光、深紫外光，还有极紫外光, 而极紫外...